美國(guó)Tousimis Autosamdri-931 Cleanroom系列
觸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
該系列為臺(tái)式臨界點(diǎn)干燥儀，可在超凈間工作，有3個(gè)型號(hào)可選：
1）Autosamdri-931_1.25"，用于1"的晶圓臨界點(diǎn)干燥
2）Autosamdri-931_2.50"，用于不超過(guò)2"的晶圓臨界點(diǎn)干燥
3）Autosamdri-931_3.40"，用于不超過(guò)3"的晶圓臨界點(diǎn)干燥
臨界點(diǎn)干燥原理
之所以稱(chēng)為臨界點(diǎn)干燥（又稱(chēng)超臨界干燥），因?yàn)樗嬖跔顟B(tài)的連續(xù)性，即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無(wú)明顯的區(qū)別，分界面的表面應(yīng)力降到零。這種現(xiàn)象具有特定的溫度和壓力，被稱(chēng)為臨界點(diǎn)。零表面應(yīng)力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品，避免了表面應(yīng)力對(duì)試樣的損壞。
我們?cè)陔娮语@微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時(shí)經(jīng)常需要進(jìn)行脫水處理（梯度脫水），但水的臨界點(diǎn)為+374℃及3212 psi，很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點(diǎn)干燥介質(zhì)為CO2，它的臨界點(diǎn)在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合，因而必須用第三種介質(zhì)，通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過(guò)渡液體，即CO2 從液體轉(zhuǎn)為氣體時(shí)，在臨界點(diǎn)無(wú)表面應(yīng)力對(duì)樣品的破壞。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
?防靜電設(shè)計(jì)，適合潔凈室材料制造應(yīng)用
?明亮的觸摸屏控制
?默認(rèn)“自動(dòng)模式”設(shè)置，適用于大多數(shù)晶圓和裸片MEMS應(yīng)用
?每次可處理多達(dá) 5片基板（晶圓或裸片）
?創(chuàng)建和存貯用戶(hù)自定義程序，用于不同樣品
?“慢充”功能可保護(hù)大部分脆弱樣品
?快速冷卻腔室(1到3分鐘內(nèi)從25°C冷卻至3°C)
?采用免維護(hù)渦流旋動(dòng)法進(jìn)行置換攪拌，無(wú)需攪拌棒
?外部可更換的0.5µm置換后過(guò)濾器，便于維護(hù)
?配備耐氟樣品架，可選不同腔室分別用于干燥3" 、 2"直徑的晶圓或邊長(zhǎng)為10mm的方形裸片
?對(duì)于外部鋼瓶供應(yīng)的液態(tài)CO2進(jìn)行顆粒過(guò)濾，截留率為99.5%以上
?內(nèi)部過(guò)濾可將過(guò)濾后的液態(tài)CO2直接輸送至工作腔室， 顆粒過(guò)濾低至0.08µm，截留率為99.999%以上
?內(nèi)置冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結(jié)或機(jī)體靜電，整個(gè)過(guò)程無(wú)噪聲
?"Stasis軟件" ，干燥凝膠和其它復(fù)雜樣品
主要技術(shù)規(guī)格
? 工作腔室尺寸：有三種腔室直徑可供選擇 1.25"、2.50" 、3.40"
? 壓力測(cè)量范圍：0-2000psi.
? 溫度測(cè)量范圍：-30°C to 60°C
? 控制方式：觸摸屏全自動(dòng)程序控制
常規(guī)配置
? 柔性高壓液態(tài) CO2 供應(yīng)軟管，便于現(xiàn)場(chǎng)安裝
? 液體 CO2系統(tǒng)輸送過(guò)濾
? 耐氟樣品架：基于不同尺寸腔室分別用于干燥3"、2"的晶圓或邊長(zhǎng)為10mm的方形裸片
? 柔性排氣管易于安裝
? 備用腔室 O 形圈、腔室燈和保險(xiǎn)絲
注：美國(guó)Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史，在中國(guó)客戶(hù)中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國(guó)區(qū)代理。Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類(lèi)，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途；
非潔凈室版本共有7款CPD：
1）Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點(diǎn)干燥儀
2）Samdri®-795半自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
3）Autosamdri®-815 Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
4）Autosamdri®-815B Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
潔凈室版本共有9款CPD：
1）Autosamdri®-815 Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For Die & 1”Wafers
2）Autosamdri®-815B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers
3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers
4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀
5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀
6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)`干燥儀
9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀
美國(guó)Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復(fù)雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導(dǎo)體晶圓（樣品尺寸8英寸，一次同時(shí)干燥5片）等材料類(lèi)樣品的臨界點(diǎn)干燥。利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)無(wú)液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實(shí)形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細(xì)胞組織等生物樣品、半導(dǎo)體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡(jiǎn)便、控制精確、結(jié)果可重復(fù)等特點(diǎn)?？蛻?hù)可基于不同的應(yīng)用選擇不同的型號(hào)。
