雙頻激光干涉儀測量角度和角速度

來源：上海貝丁漢工業自動化設備有限公司 2010年09月06日 17:26

雙頻激光干涉儀測量角度和角速度

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上傳時間:	2010-7-29 14:26:51
更新時間:	2010-7-29 14:26:51
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雙頻激光干涉儀測量角度和角速度

從幾何意義上來說，角度表征了從同一點出發的兩條直線的方向差別。角度的復現是建立在圓周角等于360°的基礎上的。激光測角的方法很多，按照測角范圍分類，可分為：小角度測量和全角測量；按照有無合作目標分類，可分為有靶鏡測量和無靶鏡測量；按照坐標特征可以分為：俯仰角、偏擺角、滾動角的測量。德國耶拿爾JENAer雙頻激光干涉儀通過不同的光學鏡組件，可對機床的俯仰角、偏擺角和滾動角進行測量。以下為垂直度（直角）測量的原理：

許多機械系統，如機床、測量機等都采用直角坐標系統。在理想情況下X、Y、Z三個坐標軸相互垂直。如果他們不垂直就會影響空間坐標的精度。因此，垂直度的測量已引起廣泛的重視。測量垂直度的方法基于直線度測量，以直角方塊為基準，測量兩個待測導軌的直線度，可以計算出兩個導軌的垂直度。這種測量方法的核心思想是以雙面反射鏡的角平分線為直線基準（簡稱準直基線）。測量垂直度時，首先將準直基線調整到和待測的一個方向平行，后來的任何調節都不得變動雙面反射鏡。因此，準直基線就平行于一個待測方向。這時用直角標準塊和反射棱鏡把光束轉90°，用空心四面體入射光和出射光。沃拉斯頓棱鏡放在出射側，光束從雙面反射鏡返回、合光，進入激光器計數。四面體和沃拉斯頓棱鏡在跟隨另外一個運動方向運動的過程中所顯示的直線度誤差就是垂直度誤差，誤差值除以移動距離就是角度值。

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