日揚矩形閥在分子束外延設備MBE上的應用

國際上比較專業的大型MBE設備供應商主要有，美國的Vecco，法國的Riber，芬蘭的DCA等。這幾家從實驗室用的小型MBE，到工業相關的英寸級別的圓晶MBE都有供應。并且能提供一定的工藝解決方案。

一些超高真空表面科學的供應商，因為用戶有進行MBE生長的需要，也會提供MBE解決方案，比如德國/瑞典的Scienta Omicron，德國的Createc，波蘭的PreVac等。其中，Scienta Omicron的產品線更全一些，從10*10 mm到圓晶都有，印象中其他幾家集中在科研用10*10 mm上。這幾家供應商一般不能提供生長工藝上的支持。

還有一家比較特殊的是德國的Dr. Eberl MBE-Komponenten，印象中只在科研界見過他們的產品，在企業專注在MBE上，也是10*10到圓晶都有。并為部分其他供應商提供源爐。

最近歐美對中國的MBE系統的出口審查日趨嚴格，于是國內從事MBE制造的企業就有了進步的動力，北京的中科艾科美、上海費勉、上海實路、大連齊維、蘇州華陽賽斯、沈陽科儀、常州國成、蘇州焜原等。都在使用或者選型日揚的矩形閥門。

最終MBE產品的質量和上下游產業也密切相關。追求極限真空時，腔體本身的鋼材品質和放氣程度就變得重要，這是和整個工業體系相關的。其中，日揚的矩形真空閥門質量YILIU，經受了市場的反復檢測，值得信賴！

MBE可能是超高真空設備中WEIYI和實際生產聯系緊密的。MBE技術最大的優點是生長速度慢、結構控制精確。但這同樣也是它最大的缺點，對工業生產來說，它實在太慢了。也許只能通過生長高附加值產品，或者多臺設備同時開工來克服了這一短板，日揚真空閥門現在有優惠的批量價格，降低設備成本，滿足市場的需求！

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作者：深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術中心

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