半導體參數分析儀（器件分析儀）是一種集多種測量和分析功能于一體的測試儀器，可準確執行電流-電壓（IV）和電容測量（CV(電容-電壓)、C - f(電容-頻率)以及 C –t(電容-時間)測量），并快速、輕松地對測量結果進行分析，完成半導體參數測試。半導體參數測試是確定半導體器件特征及其制造過程的一項基礎測量。在參數測試中，通常需要進行IV測量，包括分辨率低至1pA的小電流測量和高達1MHz的CV測量，并對主要特征/參數進行分析。雖然半導體參數分析儀的設計初衷是進行半導體評測，但因其尤越的性能、強大的功能以及出色的易操作性，現已在各種材料、器件和電子器件的IV和CV表征中得到廣泛應用。

半導體參數分析儀可為表征任務提供更高的性能、更強的可用性以及更高的效率。參數分析儀集多種測量資源于一身，可輕松進行IV和CV測量，無需匯集或集成多種儀器，例如電源、電壓表、電流表、LCR表、開關矩陣等。參數分析儀的主要測量元器件是電源/測量單元（SMU）。SMU是一種將電壓/電流源功能和電壓/電流表功能結合于單一模塊中的測量模塊。由于該參數分析儀將電源和測量電路緊密集成，所以相比使用多種獨立儀器進行相同測量來說，可以提供更高的精度、分辨率以及更小的測量誤差。

此外，參數分析儀還具有分析功能，使您無需借助外部PC便可快速地交互檢查和分析顯示屏上的測量結果。由于半導體參數分析儀具有多種功能，因此適用于從探索分析到自動測試的各種測量環境。

全“芯”新品！SPA6100半導體參數分析儀，1200V/100A，一鍵執行測試，朝高性價比！模塊化集成設計，配置多種不同規格的SMU，可同時進行直流I-V、超快脈沖式I-V、C-V測試，幫助你實現測試效率與開支的平衡！

產品特點

30μV-1200V，1pA-100A  寬量程測試能力

測量精度高，全量程下可達0.03%

內置標準器件測試程序，直接調用測試簡便 

自動實時參數提取、 數據繪圖、分析函數

在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線

供靈活的夾具定制方案，兼容性強

免費提供上位機軟件及SCPI指令集

應用場景及測試參數

納米材料：電阻率、載流子遷移率、載流子濃度、霍爾電壓

柔性材料：拉伸/扭轉/彎折、V-t、I-t、R-t、電阻率、靈敏度

IC芯片：O/S、IIH/IIL、VOH/VOL、I/O  Pin IV曲線

分立器件：BVDSS/IGSS/IDSS/Vgs(th)/Rdson、Ciss/Coss/Crss、輸出/轉移/CV曲線等

光電探測器：暗電流ID、結電容Ct、反向擊穿電壓VBR、響應度R

鈣鈦礦電池：VOC、ISC、Pmax、Vmax、Imax、FF、η、Rs、Rsh

LD/LED/OLED：Iop、Popt、VF、Ith、VR、IR、LIV/IVL曲線

傳感器/憶阻器：V-t、I-t、R-t、直流/脈沖/交流IV測試

特色優勢

模塊化配置：可靈活配置多種測量單元，預留升級空間，方便后期升級

圖形化界面：內置常用器件模板，可直接調用，并且支持輸出三種模式測試報告

自動化測試：內嵌低漏電矩陣開關，可自動切換測試電路，實現一鍵測試功能

夾具可定制：支持二極管、三極管、Si及SiC  MOS管、IGBT等器件

多設備聯動：可與探針臺、溫控模塊等搭配使用，溫控范圍：室溫~250℃