日本TAIKO螺桿干式真空泵基本原理和制冷辦法

來源：上海春粟自動化科技有限公司 2025年09月17日 07:31

　　日本TAIKO螺桿干式真空泵關鍵在半導體業、化工、塑料薄膜產業鏈獲得運用于發展趨勢。海外的干泵銷售市場正處在紅紅火火的環節，如日本國，半導體業已所有用干式真空泵替代骨架密封式機械泵，而毆美半導體業45%之上用干式真空泵替代了骨架密封式機械泵，進一步提高了商品的特性和品質。

　　日本TAIKO螺桿干式真空泵基本原理

　　此為立柱式雙螺桿干式真空泵，它的吸氣和排氣管基本塬理和大部分是一樣的，是運用一對螺桿，在泵體中作同歩髙速反方向轉動而造成的吸氣和排氣管功效的抽真空機器設備。

　　干式真空泵工作中時，彼此之間無磨擦，運行穩定，噪音低，工作中腔不用潤滑脂，因而，干試螺桿泵能抽除帶有很多水蒸氣及小量煙塵。因為螺桿做成變牙距構造，與等牙距構造對比，極限真空泵高些，而耗費輸出功率更低，具備環保節能，免檢修等優勢。它是骨架密封式機械泵的升級換代商品。

　　日本TAIKO螺桿干式真空泵的制冷方法：

　　現階段目前市面上的干泵要用筒夾冷卻循環水對轉子開展制冷。

　　而有的立柱式螺桿機械泵的制冷系統更與眾不同，例如在泵內提升了螺桿內部冷卻液制冷及立即汽體制冷，非常好的保持內表層的溫度，不會溫度過高或過低，自始至終保持在一個適合的溫度，防止被抽的熱敏性化學物質溶解，及高溫易聚合物的化學物質。

　　泵內既無與外部中間的水泵密封又無泵腔與制冷冷卻循環水控制回路中間的密封性，因而能夠抽除有害危害介質。

　　絕大多數泵的常見故障全是由水泵密封處損壞導致的,而此泵每一軸只能一處無觸碰密封性，不會有由水泵密封損害產生的關機，及其水泵密封泄漏導致減速箱里的油被抽中泵里，造成真空自然環境及出氣口環境污染。

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