關鍵詞:Hfo2, 鉿基鐵電,鐵電薄膜，疲勞，電滯回線  

一、產品介紹：

HFO-100型鉿基鐵電薄膜測試儀是一款高量程款的鐵電性能材料測試裝置，這款設備可以適用于鐵電薄膜、鐵電體材料（既可塊體材料）的電性能測量，可測量鐵電薄膜電滯回線、可測出具有非對稱電滯回線鐵電薄膜值。可以進行電致應變測試，可以蝴蝶曲線功能，設備還可以擴展高溫電阻，高溫介電，電容-電壓曲線，TSC/TSDC等功能。鐵電材料的大規模應用源自鈣鈦礦結構鈦酸鋇鐵電體的發現，直到今日鈣鈦礦鐵電體仍然是無機鐵電體中的主流。然而，在微納電子應用中，與 CMOS 工藝更兼容的鉿基鐵電薄膜逐漸成為研究熱點。本儀器是從事壓電材料及壓電元件生產、應用與研究部門的重要設備之一，已經在各大高校和科研院所廣泛使用。

二、氧化鉿鐵電材料的崛起

傳統的鈣鈦礦類鐵電材料由于尺寸難以進一步縮小，已經難以滿足現代集成電路對高密度與高集成度的需求。而氧化鉿（HfO?）基鐵電材料憑借其的微縮能力和與現有CMOS工藝的兼容性，成為近年來鐵電研究的熱點材料。氧化鉿材料的出現標志著鐵電材料從傳統邁向現代，開啟了存儲器應用的新紀元。

主要功能：

■高存儲密度：單個存儲單元由一個晶體管構成，可實現高密度集成；

■低功耗：極化翻轉所需能量低于傳統存儲器；

■高速性：操作速度小于20納秒，適合實時性要求高的應用場景；

■非破壞性讀取：避免數據讀取過程中對存儲狀態的破壞，提高整體存儲效率。

二、主要技術指標：

1、輸出信號電壓：：±100 V可擴展電致應蝴蝶曲線功能

2、溫度；室溫-200℃，控溫精度：±1℃

3、控制施加頻率0.01到1KHz（陶瓷、單晶，薄膜）PC端軟件控制自定義設置；

4、控制輸出電流0到±50mA連續可調，PC端軟件控制自定義設置。

5、動態電滯回線測試頻率范圍 0.01Hz-1kHz

7、最小脈寬保持時間為20us;最小上升沿時間為10us;

8、疲勞測試頻率500kHz（振幅10 Vpp，負載電容1 nF）；

9、測試速度：測量時間《5秒/樣品•溫度點

10、樣品規格：塊體材料尺寸：直徑2-100mm，厚度0.1-10mm

11、主要功能： 動態電滯回線DHM，靜態電滯回線SHM，I-V特性，脈沖PUND，疲勞Fatigue，電擊穿強度BDM，漏電流LM，電流-偏壓，保持力RM，

10. 電荷解析度不小于10 mC;

漏電流測量范圍:1pA~ 20 mA，分辨率不低于0.1pA;

12、控制方式：計算機實時控制、實時顯示、實時數據計算、分析與存儲

13、軟件采集：自動采集軟件，分析可以兼容其他相關主流軟件。

14、測試精度：±0.05%

15、內置電壓：±20V

16、可增模塊：

印跡印痕IM

變溫測試THM

POM 模塊實現極化測量功能

CVM模塊實現小信號電容測試，獲得C-V曲線

PZM模塊實現壓電特性測試

DPM模塊測試介電性能

RTM模塊測試電阻/電阻率性能

CCDM模塊實現電容充放電測試。

17、探針臺(選配)：

             美國TF-2000測試數據對比圖