激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。

 

    激光具有三個重要特性：

 

    ·激光波長非常穩定，可以滿足精密測量的要求。

 

    ·激光波長非常短，可以用于高精度測量。

 

    ·激光具有干涉特性。

 

    光的干涉

 

    光具有波粒二象性。

 

    兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加，在某些區域始終加強，在另一些區域則始終削弱，形成穩定的強弱分布的現象。

 

    產生穩定干涉的條件：只有兩列光波的頻率相同，位相差恒定，振動方向一致的相干光源，才能產生光的穩定干涉。由兩個普通獨立光源發出的光，不可能具有相同的頻率，更不可能存在固定的相差，因此，不能產生穩定干涉現象。

 

    激光干涉儀測量原理

 

    為什么要用雙頻激光干涉儀？

 

    單頻激光干涉儀是一種直流測量系統，存在較大的零漂；同時由于空氣湍流，機床油霧，切削屑等會使光束發生偏移或波面扭曲，導致激光束強度發生變化，就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數。

 

    雙頻激光干涉儀的信號時交流信號，因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。

 

    雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。