納米制造，測(cè)量先行。研制高精度的納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是打造高準(zhǔn)確度納米測(cè)量傳遞鏈，提升國(guó)產(chǎn)納米制造產(chǎn)品質(zhì)量可靠性的關(guān)鍵。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制單位同濟(jì)大學(xué)相關(guān)專家介紹，二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術(shù)，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)(鉻原子躍遷頻率)，角度絕對(duì)準(zhǔn)確性在0.001°量級(jí)，相當(dāng)于把一個(gè)蛋糕按扇形均分成三十六萬(wàn)份。二維鉻納米柵格的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm×300μm，在沒有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm×2μm，不重復(fù)使用測(cè)量區(qū)域次數(shù)可達(dá)20000次以上?？蓱?yīng)用于晶圓級(jí)原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)，也可應(yīng)用于對(duì)超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準(zhǔn)。
 

　　納米級(jí)角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制成功，實(shí)現(xiàn)了納米測(cè)量領(lǐng)域的扁平化計(jì)量，避免傳統(tǒng)逐級(jí)量值傳遞方式造成的誤差累積放大，能夠通過在線校準(zhǔn)直接將高精度計(jì)量數(shù)據(jù)直接傳遞到企業(yè)計(jì)量現(xiàn)場(chǎng)，為我國(guó)納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。
 

　　下一步，市場(chǎng)監(jiān)管總局將持續(xù)強(qiáng)化納米測(cè)量領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制應(yīng)用，進(jìn)一步解決納米制造“測(cè)不了、測(cè)不全、測(cè)不準(zhǔn)”問題，為筑牢新興產(chǎn)業(yè)和未來產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)提供支撐保障。