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用“搭積木”方式構(gòu)建碳化硅片上異質(zhì)集成量子光源

研發(fā)快訊 2025年02月17日 14:40:17來源:中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 17295
摘要與微電子學(xué)的發(fā)展軌跡相似,光量子信息技術(shù)正朝著小型化與芯片化的方向快速演進(jìn)。自2008年英國布里斯托大學(xué)首次實(shí)現(xiàn)石英基集成光量子芯片以來,該領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展。

  【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所異質(zhì)集成XOI團(tuán)隊(duì)近日在集成光量子芯片領(lǐng)域取得突破性成果。研究團(tuán)隊(duì)創(chuàng)新采用“搭積木”式混合集成策略,成功將III-V族半導(dǎo)體量子點(diǎn)光源與CMOS工藝兼容的碳化硅(4H-SiC)光子芯片異質(zhì)集成,構(gòu)建出新型混合微環(huán)諧振腔。該結(jié)構(gòu)不僅實(shí)現(xiàn)了單光子源的片上局域能量動態(tài)調(diào)諧,還通過微腔的Purcell效應(yīng)顯著提升光子發(fā)射效率,為光量子芯片的大規(guī)模集成提供了全新解決方案。相關(guān)成果以《A hybrid single quantum dot coupled cavity on a CMOS-compatible SiC photonic chip for Purcell-enhanced deterministic single-photon emission》為題,發(fā)表于光學(xué)領(lǐng)域頂級期刊《Light: Science & Applications》。論文通訊作者為中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所張加祥研究員、歐欣研究員,以及中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)霍永恒教授;共同第一作者包括該所朱一帆博士生、伊艾倫副研究員與中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)劉潤澤博士。
 
  與微電子學(xué)的發(fā)展軌跡相似,光量子信息技術(shù)正朝著小型化與芯片化的方向快速演進(jìn)。自2008年英國布里斯托大學(xué)首次實(shí)現(xiàn)石英基集成光量子芯片以來,該領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展。得益于成熟的CMOS工藝,硅光子平臺已成為當(dāng)前集成光量子芯片的主流選擇,并在高維量子糾纏、量子通信、量子模擬及量子計(jì)算等關(guān)鍵技術(shù)中展現(xiàn)了巨大潛力。然而,硅材料的間接帶隙特性及其缺乏電光效應(yīng)的局限性,嚴(yán)重制約了片上大規(guī)模量子光源的制備以及高速、低功耗光子回路的動態(tài)重構(gòu)。因此,如何在光量子芯片上實(shí)現(xiàn)可擴(kuò)展的量子光源及電光可重構(gòu)回路,成為該領(lǐng)域亟待解決的核心挑戰(zhàn)。
 
  混合異質(zhì)集成技術(shù)通過將不同材料的光子器件整合到單一芯片中,為解決上述問題提供了重要途徑。該技術(shù)不僅能夠顯著提升光子線路的集成度和功能性,還可增強(qiáng)光源的擴(kuò)展性。在眾多混合集成方案中,III-V族量子點(diǎn)光源因其獨(dú)特的性能備受關(guān)注。量子點(diǎn),常被稱為“人造原子”,具有近乎100%的單光子發(fā)射效率和高度的全同性,是量子通信與計(jì)算的理想光源。盡管量子點(diǎn)已成功集成到微柱腔和布拉格環(huán)形腔中,但這些微腔的面外光場局域模式使其難以實(shí)現(xiàn)芯片級集成。雖然光子晶體微腔為量子點(diǎn)的片上集成提供了可能,但其對超精密加工、局域光譜調(diào)諧以及腔模-量子點(diǎn)位置匹配的嚴(yán)苛要求,極大地增加了技術(shù)難度。因此,量子點(diǎn)光源與微腔的片上集成及其在電光芯片中的應(yīng)用,仍是集成光量子領(lǐng)域的一大技術(shù)瓶頸,相關(guān)研究尚處于空白階段。
 
  針對量子點(diǎn)光源與微腔片上集成的技術(shù)瓶頸,研究團(tuán)隊(duì)創(chuàng)新性地提出了一種“搭積木”式的混合集成方案。該方案通過微轉(zhuǎn)印技術(shù)將含InAs量子點(diǎn)的GaAs波導(dǎo)精準(zhǔn)堆疊至4H-SiC電光材料制備的微環(huán)諧振腔上(如圖1)。低溫共聚焦熒光光譜測試表明,得益于GaAs與4H-SiC異質(zhì)波導(dǎo)的高精度對準(zhǔn)集成,光場通過倏逝波耦合在上下波導(dǎo)間高效傳輸,形成了“回音壁”模式的平面局域光場。尤為重要的是,該結(jié)構(gòu)的腔模品質(zhì)因子達(dá)到7.8×10³,僅比原始微環(huán)下降約50%,展現(xiàn)了優(yōu)異的光場局域能力。
 
圖1:基于III-V量子點(diǎn)和電光4H-SiC材料的混合集成量子點(diǎn)微腔
 
  研究團(tuán)隊(duì)進(jìn)一步在芯片上集成微型加熱器,實(shí)現(xiàn)了量子點(diǎn)激子態(tài)光譜的4 nm寬范圍調(diào)諧。這一片上熱光調(diào)諧能力使腔模與量子點(diǎn)光信號達(dá)到精準(zhǔn)匹配,成功實(shí)現(xiàn)了微腔增強(qiáng)的確定性單光子發(fā)射。實(shí)驗(yàn)測得Purcell增強(qiáng)因子為4.9,單光子純度高達(dá)99.2%,為高性能量子光源的片上集成提供了重要突破。
 
  圖2:(a)片上調(diào)控微腔耦合量子點(diǎn)單光子信號;(b)量子點(diǎn)熒光增強(qiáng);(c)片上微腔增強(qiáng)量子點(diǎn)單光子純度測試
 
  為驗(yàn)證該技術(shù)的擴(kuò)展?jié)摿Γ瑘F(tuán)隊(duì)在4H-SiC光子芯片上制備了兩個間距250 μm的量子點(diǎn)混合微腔。通過獨(dú)立局域調(diào)諧,成功克服了量子點(diǎn)生長導(dǎo)致的固有頻率差異,實(shí)現(xiàn)了不同微腔間量子點(diǎn)單光子信號的頻率匹配。這一成果為未來片上多節(jié)點(diǎn)量子干涉及光量子比特互聯(lián)奠定了關(guān)鍵技術(shù)基礎(chǔ)。
 
圖3:片上可擴(kuò)展微腔耦合量子點(diǎn)光源
 
  區(qū)別于其他類型片上微腔,該工作通過創(chuàng)新集成策略,在4H-SiC芯片上同步實(shí)現(xiàn)了光源調(diào)諧、Purcell增強(qiáng)與多節(jié)點(diǎn)擴(kuò)展,兼具高純度與CMOS工藝兼容性。結(jié)合4H-SiC優(yōu)異的電光調(diào)制特性,該技術(shù)有望推動光量子網(wǎng)絡(luò)向?qū)嵱没~進(jìn),為量子計(jì)算、通信等領(lǐng)域的芯片級集成提供全新解決方案。

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