【儀表網 行業標準】中國質量檢驗協會批準立項和組織制定的《金剛石制備 微波等離子體化學氣相沉積設備》團體標準，已組織參編單位和相關專家進行多次討論和修改，并據此形成上述團體標準征求意見稿。按照《中國質量檢驗協會團體標準管理辦法》的相關規定和要求，現對上述團體標準制定公開征求意見，意見反饋郵箱：zhubaocgc@c315.cn，截止時間2023年10月26日前。
本文件按照GB/T 1.1—2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。
本文件規定了用于制備金剛石的微波等離子體化學氣相沉積設備的術語和定義、縮略語、設備原理及分類、一般要求、設計要求、安全性要求、運行要求、安全聯鎖、技術參數、檢驗及測試、檢驗規則、標志和包裝等。
本文件適用于金剛石制備用途的微波模式為單模、多模的微波等離子體化學氣相沉積設備。
設備原理：
設備由微波源產生微波，經波導管傳輸至微波模式轉換器，微波模式轉換后，微波進入諧振腔內形成強電場區域，將輸入諧振腔內的反應氣體在強電場作用下，激發成等離子體產生化學反應，沉積金剛石膜。
分類：
MPCVD設備根據諧振腔內微波模式，可分為：單模、多模兩種類型，兩種微波模式激發等離子體產生化學反應沉積金剛石膜的原理一致。設備結構根據微波饋入方式、腔內微波模式、等離子體狀態、材料制備等，要求不同結構不同，其具體結構由各廠家自行規定。
使用安全要求：
由于MPCVD設備的沉積工藝中可能使用易燃、易爆或有毒的氣體，為了保證設備安全與人身安全，特提出以下要求:
a) 設備運行環境中應配有相應的易燃、易爆氣體監測設備。
b) MPCVD 設備真空系統、微波系統、氣體管道、連接機構、安全聯鎖裝置、氣瓶柜等關鍵部件，都應安全可靠工作,如有裝置失效或功能異常時禁止開機使用。
c) 設備安裝后應進行氣體泄漏測試，保證運行設備無泄漏。
d) MPCVD 設備的氣密性、極限真空度未達到本文件規定的技術要求時，應排除漏點，使設備滿足要求后開機使用。
e) 應定期檢查設備微波泄漏功率密度是否符合要求。
f) 當采用氧氣作為催化劑時，應確認其混合氣體的比例在安全范圍內，防止爆炸。
g) 氣體管路安裝的密閉柜體應有內徑Ф≥40mm 的排氣端口，防止可燃氣體累積導致爆炸。
h) 設備應有固定裝置，防止地震或其他意外情況時設備傾倒。
i) 設備運行環境應有良好的廢氣排放措施，場所排廢通道內徑Ф≥50mm，如反應氣體為有毒有害的危險氣體，或反應生成物中含有有毒有害物質，需加裝報警裝置和尾氣處理裝置與設備配套使用。
試驗儀器：
試驗設備、工具，應經專業計量機構檢定，并在檢定合格有效期內，具體包括：
a) 三坐標測量儀；
b) 高度計；
c) 千分尺；
d) 卡尺；
e) 扭力儀；
f) 水平儀；
g) 數字視頻顯微鏡；
h) 氦質譜檢漏儀；
i) 紅外測溫儀；
j) 兆歐表；
k) 接地電阻測試儀；
l) 耐壓測試儀；
m) 泄漏電流測試儀；
n) 電子天平(分度值0.1mg)；
o) 微波漏能儀(分度值0.01mw/cm2)；
p) 真空計(分度值0.1pa)；
q) 氣壓表(分度值0.05Mpa)。
型式檢驗：
1.有下列情況之一時，應進行型式檢驗：
a) 新產品設計定型時；
b) 結構、工藝、原材料有重大變化(4M變更)，影響設備關鍵性能時；
c) 國家法律法規或合同要求時；
d) 正常生產滿2年(含)時，后續每2年(或累積生產一定產量)，應周期性進行型式檢驗。
e) 設計定型的設備停產1年后，恢復生產時；
2. 型式檢驗應從準備交付的檢驗合格設備中，隨機抽取一臺進行測試。
3.型式檢驗項目應為本文件中全部項目。
更多詳情請見附件。
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。